1、計數率

在衍射儀方法中，X射線的強度用脈沖計數率表示，單位為每秒脈沖數(cps）。檢測器在單位時間輸出的平均脈沖數，直接決定于檢測器在單位時間接收的光子數。如果檢測器的量子效率為100％，而系統（放大器和脈沖幅度分析器等）又沒有計數損失（漏計），那么每秒脈沖數便是每秒光子數。

2、 能量分辨

是指檢測器接收某一能量的量子（某一波長射線的光量子)，所輸出脈沖信號的平均幅度與入射量子的能量成正比的特性。

3、閃爍檢測器

各種晶體X射線衍射工作中通用性能常用的檢測器。它的主要優點是：對于晶體X射線衍射使用的X射線均具有很高甚至達到100%的量子效率；使用壽命長，穩定性好；此外它和PC一樣，具有很短的分辨時間（10^-7秒數量級），因而實際上不必考慮由于檢測器本身的限制所帶來的計數損失；它和PC一樣，對晶體衍射工作使用的軟X射線也有一定的能量分辨本領。因此通常X射線粉末衍射儀配用的是閃爍檢測器。

4、連續掃描

粉末衍射儀的一種工作方式（掃描方式），試樣和接收狹縫以角速度比1:2的關系勻速轉動。在轉動過程中，檢測器連續地測量X射線的散射強度，各晶面的衍射線依次被接收。計算機控制的衍射儀多數采用步進電機來驅動測角儀轉動，因此實際上轉動并不是嚴格連續的，而是一步一步地（例如每步0.0005°）跳躍式轉動，在轉動速度較慢時尤為明顯。但是檢測器及測量系統是連續工作的，連續掃描的優點是工作效率較高。例如以2θ每分鐘轉動4°的速度掃描，掃描范圍從20～80°的衍射圖15分鐘即可完成，而且也有不錯的分辨率、靈敏度和精確度，因而對大量的日常工作（一般是物相鑒定工作）是非常合適的。但在使用長圖記錄儀記錄時，記錄圖會受到計數率表RC的影響，須適當地選擇時間常數。

5、步進掃描

粉末衍射儀的一種工作方式（掃描方式）。試樣每轉動一步（固定的Δθ）就停下來，測量記錄系統開始測量該位置上的衍射強度。強度的測量也有兩種方式：定時計數方式和定數計時方式。然后試樣再轉過一步，再進行強度測量。如此一步步進行下去，完成特定角度范圍內衍射圖的掃描。用記錄儀記錄衍射圖時，采用步進掃描方式的優點是不受計數率表RC的影響，沒有滯后及RC的平滑效應，分辨率不受RC影響；尤其它在衍射線強度極弱或背底很高時特別有用，在兩者共存時更是如此。因為采用步進掃描時，可以在每個θ角處作較長時間的計數測量，以得到較大的每步總計數，從而可減小計數統計起伏的影響。　　步進掃描一般耗費時間較多，因而須認真考慮其參數。選擇步進寬度時需考慮兩個因素：一是所用接收狹縫寬度，步進寬度至少不應大于狹縫寬度所對應的角度；二是所測衍射線線形的尖銳程度，步進寬度過大則會降低分辨率甚至掩蓋衍射線剖面的細節。為此，步進寬度不應大于尖銳峰的半高度寬的1/2。但是，也不宜使步進寬度過小，步進時間即每步停留的測量時間，若長一些，可減小計數統計誤差，提高準確度與靈敏度，但將損失工作效率。

6、微區衍射儀

微區衍射儀是按平行光束型衍射幾何設計的，使用特殊的大窗口閃爍檢測器或環形窗口的正比檢測器。工作時，檢測器沿入射線方向移動，通過固定直徑的環形狹縫對各衍射錐面的總強度依次地進行測量。由于它使用細平行光束，故能對樣品的一個微區（直徑可小至30μm）進行衍射分析

意大利GNR公司是一家老牌歐洲光譜儀生產商，其X射線產品線誕生于1966年，經過半個多世紀的技術開發和研究，該產品線已經擁有眾多型號滿足多個行業的分析需求。

可用于桌面的臺式衍射儀ERUOPE、性價比高的大功率衍射儀APD 2000 PRO、功能強大的多功能高分辨率X射線衍射儀EXPLORER，以及基于XRD在工業及冶金行業應用而專門研發的X射線殘余應力分析儀STRESS-X、殘余奧氏體分析儀AREX D等多種型號。而全反射X熒光光譜儀（TXRF）的檢測限已達到皮克級別，其非破壞性分析特點應用在痕量元素分析中，涉及環境、醫藥、半導體、核工業、石油化工等行業。